2200℃晶体生长炉
详细技术参数
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VIF晶体生长炉
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型号 |
VIF-2-LD |
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棒料尺寸 |
Φ25mm，长度400mm（也可定制其它尺寸） |
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最高加热温度 |
2200度 |
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高频加热电源
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采用电源 |
高频感应电源 |
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振荡频率 |
30-80KHZ |
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最大输入功率 |
70KW |
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加热电流 |
15-150A |
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冷却水要求 |
≥0.2MPa ≥6L/分 |
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电源重量 |
35KG |
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负载持续率 |
100% |
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输入电压 |
三相380V 50或60HZ |
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加热方式 |
感应加热 |
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腔体内直径 |
500mm |
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腔体江南(中国)度（分子泵机组） |
< 6X10 -4Pa |
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腔体充气压力 |
< 0.05MPa |
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升压率 |
<4Pa/小时 |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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欠压保护（水压） |
有 |
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控温模式 |
智能PID |
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控制精度 |
±1~ 5 ℃（600度以上） |
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温度检测方式 |
红外测温仪 |
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红外测温仪
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1、美国进口红外测温仪，特点1、响应时间快、高精度； 2、可24小时实时连续在线测温、安全、耐用； 3、激光瞄准、稳定性好、尤其适合测量高温小目标； 4、10毫秒的响应时间和±0.3%的重复性精度，保证满足您进行快速、精确测温的要求。 测温范围：1000~3200℃ |
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技术方案 |
坩埚底部带有一个8mm的孔洞，用塞杆将洞堵住，然后在坩埚中放物料，物料被加热充分熔化后，将塞杆拔出，熔化的液体从孔洞流出，跟随引杆慢慢凝固下移，形成棒材 |
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江南(中国)腔体内是否可接水冷坩埚 |
可以 |
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观察窗尺寸 |
Dia 90mm |
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江南(中国)机组
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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江南(中国)挡板阀 |
KF40 |
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前机江南(中国)泵BSV30
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功率 |
1.1KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
8 |
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极限压强 |
5X10 -1Pa |
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复合江南(中国)计 |
复合江南(中国)计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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江南(中国)计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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二级泵 为分子泵 （方案一） |
分子泵 （可以把腔体江南(中国)度抽到6X10E-4Pa）
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
220V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<10Pa |
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二级泵为扩散泵
（方案二） |
扩散泵 可以把腔体江南(中国)度抽到5X10E-3Pa） |
电压 |
220V |
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功率 |
1000W |
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极限江南(中国)度（在无泄露时） |
10E-5Pa |
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进气接口 |
DN150 |
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出气接口 |
DN40 |
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注入油量 |
0.3L |
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抽气速率（N2） |
1000L/S |
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水冷机（选购） HZ-03A |
电源 |
3PH-380V/50HZ |
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最大扬程 |
40M |
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最大流量 |
16L/min |
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水箱容量 |
60L |
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制冷量 |
103Kcal/h |
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出入水口 |
Rp1/2’’ |
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机器尺寸 |
1150×520×1145(长X宽X高) |
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一、设备特点
1、采用卧式炉体，侧部开门结构，进出料方便，炉体结构紧凑，占地空间较小。
2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。
3、可以方便的更换不同的线圈以满足不同大小的晶体生长。
4、安装有观察孔，可以清晰的炉内坩埚物料的情况。
5、安装有红外测温仪，可以精确的测量加热套的温度。
6、配有分子泵，江南(中国)度可达8X10-4Pa
7、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。
8、采用IGBT电源，具有过温、断水保护并具有报警、输出电流显示等功能。
12、广泛应用于大专院校及科研单位等在江南(中国)或保护气氛条件下晶体的生长。
二、结构说明
本产品由炉盖、炉体、气氛控制系统、江南(中国)系统、IGBT 电源、控制系统、水冷系统、工作台、电控系统等组成 ，炉体、气氛控制系统、电控系统和水冷系统等组成部分都安装在设备台架上，使整个设备成为一体,炉架下安装有水平调节轮、不但可以自由的拖动，并有调节水平的功能。
1、炉体：为全304不锈钢结构，氩弧焊焊接。炉壳采用双层水冷结构，保证炉壳温度不超过40℃。炉盖采用前开门结构，炉盖打开方式为手动，并加有锁紧装置，炉盖上设有观察孔，方便观察炉内情况。炉体上安装有进出气口、与水冷机连接的进出水口和安装有连接炉体内浇注装置的进出水管。
2、炉架：由型钢钢板组焊成柜架结构，炉体安置在炉架上。
3、温控系统(选购测温元件时)：温控系统是由测温系统，温控仪表组成，炉体上配有红外测温仪，把红外测温仪输出的1-5V信号通过控温仪表转换为温度信号，控温仪表可以控制感应炉的输出功率，这样形成一个闭合回路，可以对炉子的升温进行编程控制，可以进行50段程序控温，控温精度准确，升温速率可调，并可以进行恒温，以方便控制浇铸时的温度控制。
| 名称 | 单位 | 数量 |
| 炉体 | 台 | 1 |
| 感应电源 | 套 | 1 |
| 红外测温仪 | 台 | 1 |
| 线圈 | 个 | 1 |
| 坩埚 | 个 | 1 |
| 扩散泵 | 台 | 1 |
| 分子泵（选配） | 台 | 1 |
| 机械泵 | 台 | 1 |
| 江南(中国)阀门 | 套 | 3 |
| 水冷机（选配） | 台 | 1 |
| 触摸屏 | 台 | 1 |
| 温度控制器 | 台 | 1 |
| 旋转电极 | 套 | 1 |
| 拉锭装置 | 套 | 1 |
| 冷却装置 | 套 | 1 |
